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YSi-X |
||
対象基板 |
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尺寸 |
L100 × W50 ~ L560 × W460mm |
||
贴装后的元件高度 |
上面40mm、下面80mm (生产线上使用时为40mm) |
||
翘曲度 |
2.0 mm 以下 |
||
重量 |
2.0kg 以下 |
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X射线检查 |
TypeHD |
TypeHB |
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X射探测器 |
FOS平板式 |
直接转换式 |
|
分辨率 |
7~54μm |
18~54μm |
|
最大视野 |
62 × 78mm |
52 × 45mm |
|
检查速度 2D-X |
93.7㎠/sec |
24.0㎠/sec |
|
检查速度 3D-X |
15.5㎠/sec |
4.0㎠/sec |
|
方式 |
采用X射线CT进行三维断层检查 |
||
X射线源 |
微焦点密封管 |
||
管电压 |
最大 130KV |
||
检查区域 |
3D: L510 × W460 mm、2D: L560 × W460 mm |
||
光学检查 |
|||
检查速度 |
0.4 秒 / 视野 |
||
分辨率 |
10µm / 19µm |
||
照明 |
3层圆顶照明、上层R・G・B・红外线、中层R・G・B、下层R・G・B |
||
摄像系统 |
数码彩色相机、远心镜头 |
||
检查区域 |
L560 × W460 mm |
||
激光检查 |
|||
分辨率 / 方式 |
5µm (高度方向) / 采用通过激光光束进行三角法测量的测距传感器 |
||
检查区域 |
L510 × W360 mm |
||
X射线泄漏量 |
0.2 µSv/h 以下 |
||
电源规格 / |
三相 AC 200/208/220/240/380/400/416V ±10% 50/60 Hz / 0.4MPa以上 |
||
外形尺寸 / 重量 |
L1,710 × D1,883 × H1,705mm(突起部除外)/ 约 2,900kg |
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规格、外观如有变动,恕不另行通知。
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YSi-X |
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対象基板 |
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尺寸 |
L100 × W50 ~ L560 × W460mm |
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贴装后的元件高度 |
上面40mm、下面80mm (生产线上使用时为40mm) |
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翘曲度 |
2.0 mm 以下 |
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重量 |
2.0kg 以下 |
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X射线检查 |
TypeHD |
TypeHB |
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X射探测器 |
FOS平板式 |
直接转换式 |
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分辨率 |
7~54μm |
18~54μm |
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最大视野 |
62 × 78mm |
52 × 45mm |
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检查速度 2D-X |
93.7㎠/sec |
24.0㎠/sec |
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检查速度 3D-X |
15.5㎠/sec |
4.0㎠/sec |
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方式 |
采用X射线CT进行三维断层检查 |
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X射线源 |
微焦点密封管 |
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管电压 |
最大 130KV |
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检查区域 |
3D: L510 × W460 mm、2D: L560 × W460 mm |
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光学检查 |
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检查速度 |
0.4 秒 / 视野 |
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分辨率 |
10µm / 19µm |
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照明 |
3层圆顶照明、上层R・G・B・红外线、中层R・G・B、下层R・G・B |
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摄像系统 |
数码彩色相机、远心镜头 |
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检查区域 |
L560 × W460 mm |
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激光检查 |
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分辨率 / 方式 |
5µm (高度方向) / 采用通过激光光束进行三角法测量的测距传感器 |
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检查区域 |
L510 × W360 mm |
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X射线泄漏量 |
0.2 µSv/h 以下 |
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电源规格 / |
三相 AC 200/208/220/240/380/400/416V ±10% 50/60 Hz / 0.4MPa以上 |
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外形尺寸 / 重量 |
L1,710 × D1,883 × H1,705mm(突起部除外)/ 约 2,900kg |
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规格、外观如有变动,恕不另行通知。
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